열식 유량 센서는 외부 온도에 영향을 받기 어렵습니다.
스타트시의 플로우 서지 현상을 억제합니다. 풀 스케일 유량: 5SLM-N2
가스 종류: N2
유량 정밀도:±2%FS(정밀도 보증 범위 15~35℃)
응답성: 6sec
유량 제어 범위: 5~100%FS
입출력: 아날로그 신호(0~5VDC)
밸브 형식: N/O 노멀 오픈
재현성: ±0.2%FS
작동 압력 범위: 50~300kPa
내압: 1MPa(G)
외부 누설율: 1×10^-7Pa・m3/sec(He) 이하
접가스 부재질: SUS316, PTFE, 불소고무
접속：1/4in.SWL 상당
전원：＋15VDC±5％ 60mA、－15VDC±5％ 150mA
통신 방식: 아날로그 0~5VDC(D-Sub9Pin 커넥터)
크기: 127×25.5×100mm
