내부 용기 식으로 재료를 직접 탱크에 투입하지 않으므로, 가압 용기 본체의 세정이 불필요합니다.
시판 용기를 넣는 것도 가능합니다. 재질：스테인리스(SUS304), O링/NBR(니트릴 고무)
사용압력 : 0.49MPa 이하
착탈 방식:페룰 클램프식
나사 구멍:Rc1/4×2개, Rc1/8×1개
용도 : 스핀 코터의 레지스트 토출 · UV 수지의 토출 · 각종 약액의 토출 · 각종 용제의 토출에.
본체
용량(L)：1.8
사이즈(mm)：φ97×270
TA 시리즈
※본체는 내부 용기 제외
※특주 가공이 가능합니다.
