물·가스·약품 등의 영향을 받지 않고 온도 측정을 할 수 있습니다.
통상의 온도계를 사용할 수 없는 복잡한 기구의 내부나 회전체, 진공 장치 안에 있는 물체 등에도 사용할 수 있습니다.
플라즈마 분위기 대책으로서 캡톤 필름으로 커버되고 있습니다.
라벨의 끝에서 시온 소자까지 1mm이므로 웨이퍼 에지의 온도를 측정할 수 있습니다.
이면 인쇄이므로 진공중에서의 인쇄 잉크 비산을 막아, 아웃 가스를 억제합니다.
극소 사이즈의 진공내 측정 씰 표시：3점 표시
정밀도：±1%(100℃ 이하 ±1℃)
반응 속도: 1초(수중, 완만한 열 구배)
크기: 8mm×3mm
시온 사이즈：φ1.5mm
온도 조합(℃):82-88-93
입수：1 케이스(10장입)
비가역성
※진공 내에서의 온도 정밀도를 보증하는 것은 아닙니다.
※정밀도는 1기압에서의 융점 이용입니다.
