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(株)アルバック
ULVAC 단상 100V 다이어프램형 드라이 진공 펌프 전폭 193.5mm DA-121D 1대
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카탈로그 품번:DA-121D 특징:●고무의 박막(다이아프램)의 왕복 운동을 이용하여 배기를 실시하는 진공 펌프입니다. ●접가스부에는 기름, 물등은 사용하지 않는 드라이 진공 펌프입니다. 서멀 프로텍터를 내장해, 안전면도 배려했습니다. ●심플 구조로 메인터넌스도 용이합니다. 용도: ● 흡착 이송, 흡착 고정, 진공 족집게. ● 분석 장비, 물리 화학 장비. ● 반도체 검사 장치. ● 장치 조립. ● 자동 기계, 포장 기계. 사양:●배기속도(L/min) 50/60Hz:120/145●도달압력(Pa):3.3×10[[의 3승]]●흡기구경(mm):16 받침대에서 이전압으로 별작 대응(DAL-181D/DAL-361S는 제외) 주의: ●「DA-121D」「DA-241S」에는 밸런스 포트가 장착되어 있습니다. 이것은 펌프실의 1단측과 2단측의 압력을 균형 있게 하여 진공 기동을 가능하게 하는 시스템입니다. ● 흡입 기체에 수분, 쓰레기, 부식성 가스 등이 혼입되는 경우에는 이들을 제거할 필요가 있습니다.
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