ULVAC 단상 100V 다이어프램형 드라이 진공 펌프 폭 203mm DAU-20 1대

카탈로그 품번：DAU-20 특징：●다이어프램형 진공 펌프의 도달 압력 성능을 한층 더 추구한 것입니다. ●복수의 펌프 헤드를 3단식으로 배관함으로써, 통상의 다이어프램형에서는 얻을 수 없는 도달 압력을 실현하고 있습니다. 사용: ● 광역 유형 터보 분자 펌프, 크라이오 펌프 배기 시스템, 기계식 부스터 펌프의 백 펌프. ●로드 록실 배기. ●흡착 반송, 핸들링. ●레이저 가스 순환·배기용. ●진공건조장치, 연결진공건조장치 사양：●배기속도(L/min) 50/60Hz：20/23●도달압력(Pa)：200●흡기구경(mm)：10●전원(V)：단상 100●전폭(mm)：161●전체 길이(mm)：327●전기(단) 1대에서 이전압에 별작 대응 ●도달 압력(KPa)：0.2 ●흡배기관경(mm)：ODφ10×IDφ6(Rc1/8) ●최대치수(mm)：161(W)×327(L)×218(H) 주의: ●흡입 기체에 수분, 쓰레기, 부식성 가스 등이 혼입한다.