카탈로그 품번：SH200A-ISG1-NW25-SET 특징：●멀티 이온 게이지의 채용에 의해 용도에 따른 측정자의 선택이 가능합니다. ●종래품보다 대폭적인 소형화를 달성(컨트롤러 용적 56% 삭감), 세계 최소 클래스입니다. ●PC/스마트폰 접속에 의해 세트 포인트 설정, 상태 확인등을 할 수 있습니다. ●진공계에 있어서 엄격한 환경하에서도 장수명을 실현했습니다. ●필라멘트의 전력 감시에 의해, 필라멘트 수명을 사전에 통지 가능합니다. ●대기압으로부터 고진공 영역(1×10^+5~1×10^-8Pa)의 측정이 가능(옵션 유닛 SWU10-R 접속시)입니다. 용도: ● 반도체·전자 부품을 비롯한 각종 제조 장치의 고진공 영역의 공정 제어용. ●인라인식・매엽식과 같은 많은 프로세스실을 가지는 각종 제조 장치의 고진공 영역의 도달 압력 확인에. ●고진공・초고진공장치의 압력 측정에. 사양：●측정압력범위(Pa)：1×10［［의 5승］］～1×10［［의 -8승］］●측정자：M-45(NW-25)/SWP-25 ●맞춤 플랜지：NW25 ×70×96mm(표시기 ISG1)/69×63×90mm(전리 진공계 ST200※컨트롤러부)/φ40×51(피라니 진공계 SWU10-R※컨트롤러부) 재질/마무리: ●측정자 필라멘트·백금(Pt) 세트 내용／부속품：●SH200-A●SWU10-R●SH200용 측정자 M45●SWU10-R 전용 측정자 SWP-25●SWU 접속용 유니트 케이블 0.5m 주의：●본제품을 일본국외에 수출하는 경우는, 일보 주시는 것과 동시에 외국환 및 외국 무역 관리법 등, 수출 관리
