ULVAC DA-60D 단상 200V 다이어프램형 드라이 진공 펌프 배기 속도 60/72 DA-60D 200V 1대

카탈로그 품번：DA-60D 200V 특징：●고무의 박막(다이아프램)의 왕복 운동을 이용하여 배기를 실시하는 진공 펌프입니다. ●접가스부에는 기름, 물등은 사용하지 않는 드라이 진공 펌프입니다. ●서멀 프로텍터를 내장해, 안전면도 배려했습니다. ●심플 구조로 메인터넌스도 용이합니다. 용도: ● 흡착 이송, 흡착 고정, 진공 족집게. ● 분석 장비, 물리 화학 장비. ● 반도체 검사 장치. ● 장치 조립. ● 자동 기계, 포장 기계. 사양：●배기속도(L/min)50/60Hz：60/72●도달압력(Pa)：3.32×10［［의 3승］］●흡기구경(mm)：14●전원(V)：단상 200●전폭(mm)：156●전장(mm)：358●전고(mm)：238 61S는 제외) ●저속 저압용 주의: ●펌프 정지 후에 재기동하는 경우, 펌프내가 진공 상태이면 재기동하지 않는 경우가 있습니다. ●펌프내를 대기압으로 되돌리면 재기동합니다. ● 흡입 기체에 수분, 쓰레기, 부식성 가스 등이 혼입되는 경우에는 이들을 제거할 필요가 있습니다. ●「DA-15D」「DA-30S」의 장시간 연속 운전은