マスフローコントローラー　5SLM-N2　C1005 1個

熱式流量センサーは外部温度影響を受けにくいです。 スタート時のフローサージ現象を抑制します。フルスケール流量：5SLM-N2 ガス種類：N2 流量精度：±2％FS（精度保証範囲15～35℃） 応答性：6sec 流量制御範囲：5～100％FS 入出力：アナログ信号（0～5VDC） バルブ形式：N/Oノーマルオープン 再現性：±0.2％FS 動作圧力範囲：50～300kPa 耐圧：1MPa（G） 外部リークレート：1×10^-7Pa･m3/sec（He）以下 接ガス部材質：SUS316、PTFE、フッ素ゴム 接続：1/4in.SWL相当 電源：＋15VDC±5％　60mA、－15VDC±5％　150mA 通信方式：アナログ0～5VDC（D-Sub9Pinコネクタ） サイズ：127×25.5×100mm