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カイゴロウ
マスフローコントローラー 5SLM-N2 C1005 1個
マスフローコントローラー 5SLM-N2 C1005 1個
通常価格
¥114,400
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熱式流量センサーは外部温度影響を受けにくいです。
スタート時のフローサージ現象を抑制します。フルスケール流量:5SLM-N2
ガス種類:N2
流量精度:±2%FS(精度保証範囲15~35℃)
応答性:6sec
流量制御範囲:5~100%FS
入出力:アナログ信号(0~5VDC)
バルブ形式:N/Oノーマルオープン
再現性:±0.2%FS
動作圧力範囲:50~300kPa
耐圧:1MPa(G)
外部リークレート:1×10^-7Pa・m3/sec(He)以下
接ガス部材質:SUS316、PTFE、フッ素ゴム
接続:1/4in.SWL相当
電源:+15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA
通信方式:アナログ0~5VDC(D-Sub9Pinコネクタ)
サイズ:127×25.5×100mm
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