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アルバック
水晶板 金 5MHz 1組(12枚入) UCR-5MAU-12 1組(12枚入)
水晶板 金 5MHz 1組(12枚入) UCR-5MAU-12 1組(12枚入)
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¥15,400
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熱による影響は小さく、周波数安定性は高い。
成膜中の温度特性に優れる
レート安定性が良いので、より長い時間使用可能
シャッタ開閉時のふらつきや変化(熱衝撃の変化)が小さい
水晶板の入替作業時間を大幅に短縮
CRTMシリーズでの基本性能は確認済み発振周波数:5MHz
電極材質:Au(金)
電極表面:標準仕上げ
外径寸法:Φ12.4
対応成膜コントローラ:CRTM-6000G/CRTM-9200を含む全てのCRTMシリーズ
塔載可能センサ:CRTSシリーズ(シングルセンサ、マルチセンサ)全て
入数:12枚1組
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