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(株)アルバック
ULVAC 単相100V ダイアフラム型ドライ真空ポンプ 全幅193.5mm DA-121D 1 台
ULVAC 単相100V ダイアフラム型ドライ真空ポンプ 全幅193.5mm DA-121D 1 台
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¥237,600
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カタログ品番:DA-121D 特長:●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。 用途:●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。 仕様:●排気速度(L/min)50/60Hz:120/145●到達圧力(Pa):3.3×10[[の3乗]]●吸気口径(mm):16●電源(V):単相100●全幅(mm):193.5●全長(mm):411●全高(mm):285●寸法(mm):193.5×411×285●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く) 注意:●「DA-121D」「DA-241S」には、バランスポートが装備されています。これは、ポンプ室の1段側と2段側の圧力を均衡させ、真空起動を可能にするシステムです。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取除く必要があります。
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